电感耦合等离子体质谱(Inductively Coupled Plasma - Mass Spectrometry，ICP-MS) 是20世纪80年代发展起来的无机元素分析技术。它以独特的接口技术将ICP的高温等离子体电离特性与质谱仪的灵敏、快速扫描的优点相结合，形成一种新型的元素分析技术。
ICP-MS发展历史
19世纪汤姆孙使用MS发表了有关同位素的报道，同位素分析开始发展。随着石油工业的发展，要解决快速测定油的成分这一问题，MS开始用于使用中烃的分析。20世纪40年代质谱仪诞生，50年代质谱仪器开始商品化。
1897，汤姆孙发现电子，获诺贝尔奖，开创质谱时代；
1906，汤姆孙发现离子在电磁场中的运动轨迹与其质荷比有关；
1912，世界第一台质谱仪；
1942，第一台商品质谱仪诞生；
1978，Houk搭建了全球第一台可以从ICP中提取离子的ICP-MS，弥补了光谱干扰严重，检出限高等缺点；
1980，Houk & Fassel首次分别报道ICP做离子源的质谱分析法；
1983-1987，SCIEX和VG推出了商品化ICP-MS仪器，第一台计算机控制ICP-MS；
1989，高分辨率磁质谱ICP-MS。
20世纪90年代，ICP-MS法开始应用于高纯稀土纯度分析。经过30年快速发展，它具有检出限低、动态线性范围宽、干扰少、分析速度快、可进行多元素同时测定及可提供精确的同位素信息等优点。
1990-1992，第一个使用离轴透镜，研制出了屏蔽炬技术；
1994，推出第一台台式ICP-MS，首次采用屏蔽炬技术与Peltier效应控温雾室；
2000-至今，ICP-MS引入全新接口技术，串接技术等。
ICP-MS特点及优势
与电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)、原子吸收(AAS)和原子荧光(AFS) 等无机元素分析技术相比，ICP-MS技术具有最低的检出限、最宽的动态线性范围、干扰最少、分析精密度高、分析速度快、可进行多元素同时测定等优势。
ICP-MS应用范围
ICP-MS技术被称为“用于超痕量、多元素分析的最佳技术”，可进行多元素同时快速分析，目前ICP-MS已被广泛地应用于地球科学、环境科学、生命科学、材料科学、半导体工业以及公安侦探等领域。
